四氟化碳

所属分类：半导体制程（支撑）材料
点击次数：
发布日期：2020/08/12
规格：
类型：
在线询价

详细介绍

产品介绍 Product introduction

四氟化碳（CF4），又称四氟甲烷，相对分子量为88，熔点为-183.6℃，沸点为-127.8℃，是一种无色无味的不可燃气体。常温下，四氟化碳属于易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。四氟化碳与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。四氟化碳在微电子工业等领域具有重要的应用，作为蚀刻二氧化硅和氮化硅的介质材料已成熟运用多年，也是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。

产品指标 Quality specification

项目Items	单位Units	指标Index
Carbon tetrafluoride4）≥	Vol.%	99.999
二氧化碳Carbon dioxide（CO2）≤	Vol.ppm	1
一氧化碳Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	1
氮气Nitrogen（N2）≤	Vol.ppm	4
其他卤代烃Other halogenated hydrocarbons （CF3Cl,CF2Cl2,CF3H）≤	Vol.ppm	1
氧气Oxygen（O2）≤	Vol.ppm	1
六氟化硫Sulfur hexafluoride（SF6）≤	Vol.ppm	1
酸度（HF）Acidity	Vol.ppm	0.1
水Water（H2O）≤	Vol.ppm	1

产品用途 Application

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，与高纯氮气的混合体可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。此外，四氟化碳在低温下可作为低温流体应用，在制冷、气体绝缘、氟化剂、表面处理剂和激光气体泄漏检验剂领域中有一定的应用空间。

包装、贮存 Packaging and storage

四氟化碳充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶容积分别为8 L、44 L、47 L，具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化碳储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房中，远离火种、热源，库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。存应备有泄漏应急处理设备。

产品分类

最新新闻

热门关键词

联系我们

四氟化碳

所属分类：半导体制程（支撑）材料

产品介绍 Product introduction

产品指标 Quality specification

产品用途 Application

包装、贮存 Packaging and storage

本文网址：http://www.zscfx.com/product/819.html

关键词：

最近浏览：

相关产品：

相关新闻：

关注重山光电

服务热线

13508950618