六氟乙烷

六氟乙烷(C2F6)，又称全氟乙烷，是一种无色、无味、不可燃的惰性气体。六氟乙烷熔点为-100.6℃，沸点为-78.2℃，微溶于水。六氟乙烷作为干腐蚀剂具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精确性的优点，可以极好地满足线宽较小的制程要求，被广泛应用于半导体制作过程中。

项目 Items	单位 Unit	指标 Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
卤代烃 Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
酸度 Acidity（Measured by HF）	Wt. ppm	＜0.1
总杂质含量 Total impurity content	Mol.ppm	≤10

电子级高纯六氟乙烷主要在半导体器件制造过程中，作为蚀刻剂、化学气相沉积（CVD）后的腔体清洗剂等使用，同时也可作为高介电强度制冷剂和电气设备的气体绝缘介质使用。

六氟乙烷充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积分别为4L、8L、10L、12.5L、40L等。具体包装规格可根据用户需求定制更改。

所属分类：半导体制程（支撑）材料