碳酰氟

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2020/06/16
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产品介绍 Product introduction

碳酰氟（CF2O），又名氟光气、氟化羰、羰基氟、氟氧化碳、氧氟化碳等，分子量为66.01，熔点为-114℃，沸点为-84℃。碳酰氟是一种高毒刺激性气体，对皮肤及呼吸道粘膜具有强烈的刺激作用，能溶于水和乙醇，在水中分解放出剧毒的腐蚀性气体，具有强烈的腐蚀性。作为新一代电子工业中的刻蚀气体和清洗气体，其温室效应极低，具有极低的全球变暖潜能值和极低的大气寿命（< 1年），绿色环保。

产品指标 Quality specification

项目Items	单位Units	指标Index
Carbonyl fluoride2O）≥	Vol.%	99
氧气、氩气Oxygen, Argon（O2+Ar）≤	Vol.ppm	100
氮气Nitrogen（N2）≤	Vol.ppm	1000
四氟化碳Carbon tetrafluoride（CF4）≤	Vol.ppm	150
二氧化碳Carbon dioxide（CO2）≤	Vol.ppm	2500

产品用途 Application

碳酰氟在电子工业中用作清洗气和刻蚀气，其温室效应极低，绿色环保。碳酰氟也可作为有机合成、无机合成中的重要的氟化剂、氟原料。碳酰氟还是有机合成中的重要中间体，用于生产氟塑料或其他下游产品。碳酰氟还可以纯化和干燥化合物（尤其是含氟化合物）。

包装、贮存 Packaging and storage

碳酰氟充装在钢质无缝钢瓶中，钢瓶容积为10 L、40 L，具体包装规格可根据用户需求定制更改。产品储存于阴凉、干燥、通风良好的库房，远离火种、热源。防止受潮、雨淋、阳光直射。

本文网址：http://www.zscfx.com/product/818.html

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