八氟丙烷

八氟丙烷(C3F8)是一种无色、无味、不可燃的惰性气体。八氟丙烷熔点为-183.0℃，沸点为-36.7℃，难溶于水。电子级高纯八氟丙烷应用在半导体器件制造过程中，与氧气的混合气可用作等离子蚀刻气体。

项目 Items	单位 Unit	指标 Indexs
C3F8	Vol.%	≥99.999	≥99.9995
O2+Ar	Vol.ppm	＜1	＜0.5
N2	Vol.ppm	＜5	＜1
CO	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CF4	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
C2F6	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CH4	Vol.ppm	＜1	＜1
H2O	Vol.ppm	＜1	＜1
酸度 Acidity (Mesured by HF)	Wt. ppm	＜0.1	＜0.1
总杂质含量 Total impurity content	Mol.ppm	≤10	≤5

在半导体工业中，八氟丙烷用作等离子蚀刻材料；在医学中，八氟丙烷可用于玻璃体视网膜手术后填充物及超声造影剂；八氟丙烷还可用于制作制冷混合物。

八氟丙烷充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积分别为4L、8L、10L、12.5L、40L等。具体包装规格可根据用户需求定制更改。

所属分类：半导体制程（支撑）材料