三氟化硼11

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2021/07/20
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产品介绍 Product introduction

三氟化硼11，无色气体，有窒息性。在空气中遇湿气立即水解，分解时生成剧毒的氟化物烟雾。三氟化硼反应性极强，遇水发生爆炸性分解，和水反应生成氟硼酸HBF4和硼酸，也可与金属、有机物等可发生激烈反应。高纯三氟化硼11是电子、光纤工业的重要原材料之一，是半导体生产中的重要掺杂源，用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

产品指标 Quality specification

项目Items	单位Units	指标Indexs
三氟化硼11 Boron11 Trifluoride≥	Vol.%	99.999	99.995
氮Nitrogen<	Vol.ppm	2	20
氧+氩Oxygen+Argon <	Vol.ppm	1	10
二氧化碳Carbon dioxide<	Vol.ppm	1	5
四氟化碳Carbon tetrafluoride <	Vol.ppm	1	5
四氟化硅Silicon tetrafluoride<	Vol.ppm	5	10
总杂质含量Total impurity content≤	Vol.ppm	10	50
颗粒Particle		供需双方商定 Supply and demand agreement	供需双方商定 Supply and demand agreemen

产品用途 Application

在电子工业中，高纯三氟化硼11可用作半导体生产中的重要掺杂源。三氟化硼在有机合成中可用作催化剂，也可作为合成有机硼化合物的原料，在焊接镁材时可用作焊剂。如：电子芯片、OLED。

包装、贮存 Packaging and storage

三氟化硼11充装于钢瓶中，包装规格为1 kg、2 kg和30 kg，瓶内压力为11.8 MPa，具体包装规格可根据用户要求定制更改。产品储存于干燥、阴凉的库房中，远离热源、火源，与碱金属、碱土金属、烷基硝酸酯和石灰分开存放。

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本文网址：http://www.zscfx.com/product/811.html

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