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三氯化硼11

  • 所属分类:稳定同位素系列材料

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/16
  • 规格:
  • 类型:
  • 在线询价
  • 详细介绍

产品介绍 Product introduction 

        常温常压下三氯化硼11(B11Cl3)为无色发烟气体,可燃,有刺激性、酸性气味,遇水分解生成氯化氢硼酸,并放出大量热量,在湿空气中因水解而生成烟雾,在醇中分解为盐酸和硼酸酯。三氯化硼11反应能力较强,能形成多种配位化合物,三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应,也能和许多有机物反应形成各种有机硼化合物。高纯三氯化硼11主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的扩散掺杂,在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体,也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蚀刻。

产品指标 Quality specification


项目Items单位Units指标Index
三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥Vol.%99.9995
氧+氩Oxygen+Argon<Vol.ppm1
氮Nitrogen<Vol.ppm4
一氧化碳Carbon monoxide<Vol.ppm0.5
二氧化碳Carbon dioxide<Vol.ppm0.2
甲烷Methane <Vol.ppm0.5
总杂质含量Total impurity content≤Vol.ppm5
金属离子Metal ionVol.ppm供需双方商定
Supply and demand agreement


产品用途 Application

        高纯三氯化硼11主要用于半导体器件和集成电路制造中扩散掺杂、离子注入、干法蚀刻等工艺。三氯化硼11也可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂,在合金精制中作为除氧剂、氮化物和碳化物的添加剂。


本文网址:http://www.zscfx.com/product/809.html

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