乙硼11烷

所属分类：稳定同位素系列材料
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发布日期：2021/07/20
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产品介绍 Product introduction

乙硼11烷，又称六氢化二硼、硼乙烷，分子式为B2H6，相对分子量为27.67。乙硼烷在正常条件下（15℃，101.325kPa）是一种无色、易燃、易分解、具有令人恶心的烟火气味和微甜味道的高毒气体。乙硼烷是一种非常活泼的化合物，常温下就不很稳定，会缓慢地分解生成各种不同含量的硼氢化合物，同时会放出氢气。乙硼烷遇水立即水解，最终得到硼酸和大量的氢气。乙硼11烷在电子工业中作为气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂使用。

产品指标 Quality specification

项目Items	单位Units	指标Index
乙硼11烷，Diborane11≥	Vol.%	99.99
CH4+C2H6，≤	ppm	80
氮气，Nitrogen≤	ppm	10

产品用途 Application

乙硼11烷可在微电子、平板显示、太阳能电池、LED、光纤、医药、核电等领域应用，也可用作聚合催化剂、火箭和导弹的高能燃料。乙硼11烷在半导体制造中用作硅材料的p型掺杂源，用于半导体生产，硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入。

包装、贮存 Packaging and storage

乙硼11烷存放于不锈钢钢瓶中，在室温条件下，钢瓶内纯乙硼11烷每月要分解10%~20%，在低温下乙硼11烷可以贮存几个月且分解速度低得多，但乙硼11烷储存温度不应低于-80℃。储存区应远离明火、火花、热源，并应备有泄漏应急处理设备。

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